三氟乙酰氟 C2F4O CAS号354-34-7

一、基本信息

• 中文名：三氟乙酰氟
• 英文名：Trifluoroacetyl fluoride
• 化学式：CF3COF
• 分子量：116.01400
• CAS登录号：354-34-7

• 化学性质

  • 稳定性：在常温下不稳定，容易分解
  • 反应性：具有高反应性和高选择性，可以在微米级别上进行精确刻蚀

• 应用领域

  1. 半导体刻蚀气体：三氟乙酰氟是一种低GWP值半导体刻蚀气体，用于制造半导体器件。它具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点，可以实现近乎垂直的刻蚀加工，为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能。
  2. 制冷剂：三氟乙酰氟是一种潜在的中低温制冷剂，具有良好的热力学性质和环境友好性。它的Ozone Depletion Potential（ODP）和Global Warming Potential（GWP）值都很低，可以替代一些对臭氧层和全球气候有害的制冷剂。此外，三氟乙酰氟可与其他组分混合，组成一种低GWP值的制冷剂，使得组合物的GWP≤150，从而满足碳减排、碳中和的相关要求。
  3. 其他应用：在农药中间体、含氟材料单体等领域也有广泛的应用。