全氟丁二烯CAS号685-63-2六氟-1,3-丁二烯C4F6

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全氟丁二烯/C4F6

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

初合成出来是作为聚合物的单体,但是其聚合物的性能不佳,没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。

常见问题

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